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拓荆科技9月30日公告，拟使用超募资金93000万元用于半导体先进工艺装备研发与产业化项目建设。项目将在上海市自由贸易试验区临港新片区建设研发与产业化基地，用于先进ALD设备及工艺的研发，并实现以临港为中心客户群所需半导体设备的产业化。